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plasma等離子清洗
plasma等離子清洗就是我們常說(shuō)的等離子清洗技術(shù)，等離子清洗的應(yīng)用，起源于 20 世紀(jì)初，隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用愈來(lái)愈廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位。等離子清洗技術(shù)對(duì)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類(lèi)文明影響最大，首推電子資訊工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。等離子清洗已應(yīng)用于各種電子元件的制造，可以確信，沒(méi)有等離子清洗技術(shù)，就沒(méi)有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外，等離子清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測(cè)工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù)。比如說(shuō)光學(xué)元件的鍍膜、延長(zhǎng)模具或加工工具壽命的抗磨耗層、復(fù)合材料的中間 層、織布或隱型鏡片的表面處理、微感測(cè)器的制造，超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心 臟瓣膜的抗磨耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步，才能開(kāi)發(fā)完成。
等離子技術(shù)是一新興的領(lǐng)域，該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、等離子化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng)，此為典型的高科技行業(yè)，需跨多種領(lǐng)域，包括化工、 材料和電機(jī)，因此將極具挑戰(zhàn)性，也充滿機(jī)會(huì)。 由于半導(dǎo)體和光電材料在未來(lái)的快速成長(zhǎng)，此方面應(yīng)用需求將越來(lái)越大。
等離子體與物體表面的作用
在等離子體中除了氣體分子、離子和電子外， 還存在受到能量激勵(lì)狀態(tài)的電中性的原子或原子團(tuán) （又稱(chēng)自由基），以及等離子體發(fā)射出的光線。其 中波的長(zhǎng)短、能量的高低在等離子體與物質(zhì)表面相 互作用時(shí)有著重要作用。
原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng) 由于這些自由基呈電重型，存在壽命較長(zhǎng)，而 且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等 離子體中發(fā)揮著重要作用。自由基的作用主要表現(xiàn) 在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中能量傳遞的“活化”作用，處 于激發(fā)狀態(tài)的自由基具有較高的能量，因此易于與 物體表面分子結(jié)合時(shí)會(huì)形成新的自由基，新形成的 自由基同樣處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很可能發(fā)生 分解反應(yīng)，在變成較小分子同時(shí)生成新的自由基， 這種反應(yīng)過(guò)程還可能繼續(xù)進(jìn)行下去，最后分解成 水、二氧化碳之類(lèi)的簡(jiǎn)單分子。在另一些情況下， 自由基與物體表面分子結(jié)合的同時(shí)，會(huì)釋放出大量 的結(jié)合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)推動(dòng) 力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被 去除。
電子與物體表面的作用
一方面電子對(duì)物體表面的撞擊作用，可促使吸 附在物體表面的氣體分子發(fā)生分解或解吸，另一方 面大量的電子撞擊有利引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。由于電子質(zhì) 量極小，因此比離子的移動(dòng)速度要快得多。當(dāng)進(jìn) 行等離子體處理時(shí)，電子要比離子更早到達(dá)物體表 面，并使表面帶有負(fù)電荷，這有利于引發(fā)進(jìn)一步 反應(yīng)。
離子與物體表面的作用
通常指的是帶正電荷的陽(yáng)離子的作用，陽(yáng)離子 有加速?zèng)_向帶負(fù)電荷表面的傾向，此時(shí)使物體表面 獲得相當(dāng)大的動(dòng)能，足以撞擊去除表面上附著的顆 粒性物質(zhì)，我們把這種現(xiàn)象稱(chēng)為濺射現(xiàn)象。而通 過(guò)離子的沖擊作用可極大促進(jìn)物體表面化學(xué)反應(yīng)發(fā) 生的幾率。
紫外線與物體表面的反應(yīng)
紫外線具有很強(qiáng)的光能，可使附著在物體表面 物質(zhì)的分子健發(fā)生斷裂而分解，而且紫外線具有很 強(qiáng)的穿透能力，可透過(guò)物體的表層深入達(dá)數(shù)微米而產(chǎn)生作用。
綜上所述，可知等離子清洗機(jī)是利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)的活化作用，將附著在物體表面的污垢徹底剝離去除。
